何鉴
,
盛瑞隆
,
穆启道
影像科学与光化学
浸没式光刻技术是在原干法光刻的基础上采用高折射率浸没液体取代原来空气的空间,从而提高光刻分辨率的一种先进技术. 此项技术的实际应用,为当前IC产业的飞速发展起到了关键的作用. 本文概述了浸没式光刻技术的发展历程和浸没式光刻胶遇到的挑战及要求;对浸没式光刻胶主体树脂、光致产酸剂及添加剂的研究进展进行了综述;最后对浸没式光刻胶的研究发展方向作了进一步的探讨及初步预测.
关键词:
浸没式光刻
,
光刻胶
,
主体树脂
,
光致产酸剂
刘娟
,
孔繁荣
,
余金星
,
王力元
影像科学与光化学
4,4’-二甲苯基三氟甲磺酸碘鎓盐可以被染料增感,在365 nm光照时分解产酸.尽管产生的酸与染料的胺基发生作用,依然能在后烘过程中催化缩醛聚合物酸敏基团的分解,但需要稍高的后烘温度和稍长的后烘时间.基于此,本文将酚醛树脂、缩醛聚合物、碘鎓盐产酸剂和染料组成了一种新型的化学增幅型i-线正性光致抗蚀剂材料,在曝光量为100 mJ/cm2时可得到分辨率为0.8μm的清晰图形.染料与鎓盐光产酸剂组成的感光体系具有很好的漂白性,改善了抗蚀剂材料的透明性.
关键词:
敏化剂
,
产酸剂
,
染料
,
正型
,
i-线抗蚀剂
,
酸解
,
缩醛聚合物
解晓艳
,
庞玉莲
,
肖时卓
,
杨丽
,
邹应全
,
陈萍
,
周树云
影像科学与光化学
doi:10.7517/j.issn.1674-0475.2013.04.007
本文合成了4种磺酸肟酯类非离子型光产酸剂,用核磁氢谱确认了产物结构,并测试了其热稳定性、紫外吸收特性及产酸效率.结果表明,合成的4种磺酸肟酯类光产酸剂在350-450 nm和深紫外区(DUV,248 nm)都有很好的吸收,在420 nm波段曝光下,(5-对三氟甲基苯磺酸酯亚胺-5H-噻吩-2-亚胺)-苯乙腈(P-2)产酸率最高,可达0.96;(5-对甲基苯磺酸酯亚胺-5H-噻吩-2-亚胺)-苯乙腈(P-1)在365 nm和420 nm两个波段下,均有较高的产酸率.利用实时红外(RT-IR)研究了相同浓度下4种光产酸剂对乙烯基醚化合物引发的光聚合动力学,同时研究了光产酸剂浓度对光聚合反应的影响,发现产酸剂浓度为2％时,光照30 s乙烯基醚化合物的双键转化率(DC％)即能达到80％.
关键词:
非离子型光产酸剂
,
磺酸肟酯
,
产酸率
,
实时红外
王美丽
,
王文广
,
韩元利
,
蒲嘉陵
影像科学与光化学
成功合成了两种新型锍鎓盐类光生酸剂,其结构1HNMR和MS分析确认,并对其基本物性及在405、365nm光下乙腈溶液中的分解及产酸性能进行了研究,通过计算得出了分解及产酸量子产率.结果表明,两种化合物有较高的热分解温度和在常用有机溶剂中有较好的溶解性;在405nm光源下.4-(9'-苯基蒽基)苯基三氟甲磺酸锍锗盐(PAGS1)和4,(4'-N,N-二乙基-1'-苯乙烯基)苯基三氟甲磺酸锍镥盐(PAGS2)的分解量子产率分别为10%和15%,产酸量子产率为8.1%和13%;但在365 nm光源下,分解及产酸量子产率均很低,说明两种光生酸剂对于405nm波长的光较敏感,适宜作为405nm光源下的光生酸剂.
关键词:
光生酸剂
,
锍鎓盐
,
量子产率
,
影像
杨幸幸
,
邹应全
应用化学
doi:10.3969/j.issn.1000-0518.2009.10.014
合成了6种适用于248 nm光致抗蚀剂的硫鎓盐产酸剂,其中吩噻(噁)体系的产酸剂为自行设计合成. 利用IR、H NMR、UV等测试技术进行了结构表征和紫外吸收测定,各化合物的最大紫外吸收在250～285 nm之间,吸收域较宽,适用性较强.同时,利用酸敏染料罗丹明B遇酸异构变色的特点,使用紫外!可见分光光度计定量检测了6种产酸剂在乙腈溶剂中的产酸效率,其中硫杂蒽酮系列的产酸剂产酸性能最好. 最后使用荧光追踪法研究了溶剂极性对产酸效率的影响,发现产酸剂的产酸性能同溶剂的选取密切相关,随着溶剂极性的减小,产酸效率随之降低. 对6种硫鎓盐的产酸效率检测结果可以为产酸剂进一步用于248 nm光致抗蚀剂配方提供详细的参考.
关键词:
硫鎓盐
,
产酸剂
,
产酸效率
王格侠
,
冯科
,
邢令宝
,
史晓燕
,
张丽萍
,
佟振合
,
吴骊珠
影像科学与光化学
doi:10.7517/j.issn.1674-0475.2013.01.003
本文以氯离子配位的4-(4-甲基-苯基)-6-苯基-2,2′-联吡啶铂(Ⅱ)配合物为光敏剂,Co (dmgH)2 pyCl为催化剂,三乙醇胺(TEOA)为电子牺牲体,在pH为8.5的乙腈/水混合溶剂中构建了光致产氢体系.体系光照(λ＞400 nm)19 h后产氢量达到1.8mL,反应的转换数(TON)达到804(vs.光敏剂).
关键词:
4-(4-甲基-苯基)-6-苯基-2,2′-联吡啶铂(Ⅱ)配合物
,
Co(Ⅲ)配合物
,
光敏剂
,
光致产氢
,
反应转换数
郑祥飞
,
刘敬成
,
刘仁
,
刘晓亚
高分子材料科学与工程
以甲基丙烯酸(MAA)、甲基丙烯酸甲酯(MMA)、甲基丙烯酸羟乙酯(HEMA)和2-甲基-2-金刚烷基甲基丙烯酸酯(MAdMA)为单体,通过自由基聚合制备了不同MAdMA含量的共聚物PMMHM,再与甲基丙烯酸缩水甘油酯(GMA)反应制得光敏共聚物PMMHM-G.用傅里叶变换红外光谱、核磁共振氢谱、凝胶渗透色谱、差示扫描量热等表征了聚合物的结构与性能;以PMMHM-G为基体树脂配制了光致抗蚀剂,测试了抗蚀剂膜的硬度与附着力,并用扫描电子显微镜观测了光致抗蚀剂的分辨率.结果表明,随着MAdMA含量升高,共聚物的相对分子质量下降,玻璃化转变温度升高,树脂的耐碱性增强,光致抗蚀剂的硬度和附着力良好,分辨率达50μm.
关键词:
甲基丙烯酸
,
光敏共聚物
,
负性光致抗蚀剂
,
应用
沈为真
,
刘晓亚
,
刘仁
,
李治全
影像科学与光化学
doi:10.7517/j.issn.1674-0475.2017.01.070
以硫代水杨酸和苯硫乙酸为原料,通过两步法成功合成了一种新型的单组分硫杂蒽酮类光产碱剂.利用核磁氢谱、核磁碳谱和高分辨率质谱对光产碱的结构进行了表征,通过稳态光解及电子自旋共振波谱等对光解产物进行了系统研究.该光产碱剂在400 nm附近有较强的吸收,可有效引发巯基-环氧光聚合,其引发活性优于文献报道的高效光产碱体系.
关键词:
光产碱剂
,
光致脱羧
,
巯基-环氧光聚合
,
光固化
刘金刚
,
影像科学与光化学
设计并合成了一种对高压汞灯发射光谱中的h-线(405 nm)敏感的新型光致产碱剂(PBG)--N-{[(5-哌啶-2-硝基苄基)氧]-羰基}-2,6-二甲基哌啶 (PNCDP).通过红外(IR)、核磁(NMR)以及元素分析对PNCDP的结构进行了表征.紫外-可见光谱(UV-Vis)测试结果表明,与传统的i-线(365 nm)敏感PBG--N-{[(4,5-二甲氧基-2-硝基苄基)氧]-羰基}-2,6-二甲基哌啶 (DNCDP)相比,PNCDP的最大紫外吸收波长为395.5 nm,较DNCDP红移了52.5 nm.初步光刻实验表明,PNCDP对h-线具有较好的敏感度.
关键词:
光致产碱剂
,
h-线
,
聚酰亚胺
,
光致抗蚀剂
舒航
,
刘敬成
,
王春林
,
刘仁
,
张胜文
,
刘晓亚
高分子材料科学与工程
以甲基丙烯酸（MAA）、甲基丙烯酸甲酯（MMA）、甲基丙烯酸羟乙酯（HEMA）和甲基丙烯酸苄基酯（BZMA）为原料，通过自由基聚合制备了聚甲基丙烯酸酯系列共聚物PMMHB，再用甲基丙烯酸缩水甘油酯（GMA）与PMMHB反应制得光敏共聚物PMMHB—G。用傅立叶红外光谱（FT—IR）、核磁共振氢谱（^1H-NMR）、凝胶渗透色谱（GPC）、热重分析（TGA）和差示扫描量热（DSC）表征了聚合物的结构与性能，用光学显微镜和扫描电子显微镜（SEM）观测了光致抗蚀剂的耐酸性、微观线路及分辨率。结果表明，随共聚物组成中BZMA含量增加，其分子量（Mn）和玻璃化温度（L）呈下降趋势，热分解温度（Td）提高。光致抗蚀剂的耐酸性随BZMA含量的增加而有所提高。由PMMHB-G制得光致抗蚀剂的图像线路清晰笔直，分辨率可达到40μm。
关键词:
甲基丙烯酸酯
,
UV固化
,
光敏共聚物
,
光致抗蚀剂
