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宋生 , 崔潆心 , 杨昆 , 徐现刚 , 胡小波 , 黄万霞 , 袁清习
人工晶体学报
提出了一种利用同步辐射白光形貌术定量计算晶体残余应力的方法.晶体的残余应力与晶格畸变之间存在定量关系,衍射斑点的畸变程度可以反映晶格的畸变量,据此可以计算晶体中的残余应力.文中以碳化硅单晶样品残余应力的定量计算作为实例,展示了实验方法和计算过程.结果表明该样品的残余应力以正应力为主.
关键词: 同步辐射 , 白光形貌术 , 残余应力 , 碳化硅
