材料期刊网

氮化铀薄膜的制备及性能研究

陆雷 , 肖红 , 李芳芳 , 钟永强 , 白彬 , 刘柯钊

稀有金属材料与工程

开展了氮化铀薄膜射频制备及薄膜性能研究,通过优化氮化铀薄膜的制备工艺条件,成功在Si基片上制备了氮化铀薄膜,并利用扫描电镜、原子力显微镜、X射线电子衍射、俄歇电子能谱仪和X射线光电子能谱对氮化铀薄膜进行了表面形貌和结构组分分析.结果表明:利用射频磁控沉积法制备的氮化铀薄膜为比较平整和致密的U2N3和UNxOy的混合相组成,具有一定的抗氧化腐蚀性能.

关键词: 氮化铀 , 薄膜 , 磁控溅射