蔡宏中
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吴霏
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安盈志
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常桥稳
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胡昌义
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刘伟平
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陈力
贵金属
以三氯化钌和2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮为原料,在甲醇中合成了β-二酮前驱体-三(2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮)酸钌(III)。通过元素分析、红外光谱、核磁共振谱、紫外-可见光谱等对其进行了表征,确定了配合物的结构组成。采用 TG-DTA 分析了配合物在空气和氮气中的热分解行为,为MOCVD 镀钌和钌的氧化物薄膜工艺提供热力学数据与参考。
关键词:
三(2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮)酸钌(III)
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合成
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结构特征