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三(2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮)酸钌(III)的合成及性质

蔡宏中 , 吴霏 , 安盈志 , 常桥稳 , 胡昌义 , 刘伟平 , 陈力

贵金属

以三氯化钌和2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮为原料,在甲醇中合成了β-二酮前驱体-三(2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮)酸钌(III)。通过元素分析、红外光谱、核磁共振谱、紫外-可见光谱等对其进行了表征,确定了配合物的结构组成。采用 TG-DTA 分析了配合物在空气和氮气中的热分解行为,为MOCVD 镀钌和钌的氧化物薄膜工艺提供热力学数据与参考。

关键词: 三(2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮)酸钌(III) , 合成 , 结构特征

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