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张建生 , 杨君友 , 朱文 , 肖承京 , 张辉 , 彭江英
材料导报
薄膜材料的热导率一般与其相应的块体材料有较大的差异.由于其厚度较小,对块体材料热导率的测试方法一般不适用于薄膜材料,因此近几十年来,研究工作者们发明了很多新的用于薄膜热导率的测试方法.综述了薄膜热导率的一些常用测试方法,着重介绍了薄膜热导率的最新测试方法的特点及其适用范围,并针对广泛使用的3ω法进行了详细介绍.
关键词: 薄膜 , 热导率 , 测试方法 , 3ω法
