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含氧量对NiO_x薄膜光电特性的影响

傅竹西 , 林碧霞 , 韩宪泽 , 廖桂红

材料研究学报

采用直流溅射方法制备了厚度小于0.1μm的NiOx薄膜,研究薄膜的加热氧化及其光电特性,测量了它们的透射光谱和电阻率随薄膜中的氧含量及热处理温度的变化

关键词: NiOx薄膜 , null , null