欢迎登录材料期刊网

材料期刊网

高级检索

  • 论文(2)
  • 图书()
  • 专利()
  • 新闻()

铜互连多层膜系中自对准CuSiN层的微结构及其热稳定性

刘波 , 唐文进 , 宋忠孝 , 徐可为

金属学报

通过等离子体与铜膜表面的分步反应合成了厚约4 nm的CuSiN自组装层。采用高分辨透射电镜(HRTEM)、纳米电子束探针(EDS)和 X射线衍射仪(XRD)表征CuSiN和Si/SiO2/TaN/Ta/Cu(CuSiN)/SiC:H/SiOC:H 多层膜基体系的微结构和热稳定性。结果表明:CuSiN层的引入显著提高Cu/SiC:H/SiOC:H结构的热稳定性,其机制是在500℃退火温度条件下CuSiN层能够稳定存在,从而阻碍了Cu原子向SiC:H/SiOC:H介质薄膜体内的扩散。

关键词: 铜互连 , self-aligned CuSiN , thermal reliability , barrier layers

钨螺旋线表面镀金薄膜热可靠性研究

范爱玲 , 李伟田 , 薛迎坤 , 常随杰 , 马捷

稀有金属

钨螺旋线是行波管的关键部件,随着行波管功率量级和工作频率的不断提高,其高频损耗和散热问题更加突出.为了提高钨表面镀金薄膜均匀性和结合力,前期研究了钨螺旋线表面镀覆金膜的方法,并在高温使用条件下测试镀金膜的热稳定性.采用纳米划痕技术测试镀金薄膜和基体之间结合力大小,对预镀铜5,10,15和20 s,镀金均为1.5h后的试样高温(500℃,100 h)处理前后的膜-基结合力进行了对比分析.结果表明:预镀铜5,15和20 s的试样经高温处理后的膜-基结合力大小与室温下相比没有明显降低;预镀铜l0s时的试样经高温处理后的膜-基结合力与室温下相比有所增大.钨螺旋线表面镀金薄膜热可靠性好.

关键词: 钨螺旋线 , 金膜 , 纳米划痕 , 结合力 , 热可靠性

出版年份

刊物分类

相关作者

相关热词