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发动机挺柱沉积类金刚石薄膜的工艺及性能

黄平 , 张营营 , 张斌 , 范梅梅 , 李兴杰 , 强力

电镀与涂饰

采用磁控溅射法,以Cr、Ti和石墨为靶材,Ar、N2和CH4为溅射气体,在材料为20CrMo的发动机挺柱上利用多层梯度复合技术沉积了低摩擦类金刚石(DLC)薄膜复合层CrTi/CrTiN/CrTiC/DLC.该薄膜复合层的纳米压痕硬度高达13 GPa,结合力为50 N,表面粗糙度为0.398 nm....

关键词: 挺柱 , 类金刚石 , 薄膜 , 磁控溅射 , 摩擦 , 磨损