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胡倾宇 , 赵航炜 , 闻立时 , 王永忠 , 乔桂文
金属学报
本文报道用离子束溅射法在单晶Si(100)衬底上沉积YBaCuO超导薄膜的实验结果。Y稳定ZrO_2层作为衬底和超导膜的中间层,具有良好的扩散阻止效果。薄膜具有强烈的c轴织构,其化学组成接近123相。薄膜的超导起始转变温度为100K,零电阻温度为78K。
关键词: 超导 , thin film , Si substrate
