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检索条件：关键词=spacial field
李建国 , 刘实 , 李依依 , 胡东平 , 季锡林 , 梅军 , 周德惠
金属学报
根据热丝化学气相沉积(HFCVD)金刚石薄膜的几何特点和工艺参数, 建立了该系统的二维温度场、速度场和密度场的耦合模型。利用该模型对沉积大面积金刚石薄膜的空间场进行了模拟计算, 研究了沉积参数对空间场的影响。结果表明, 衬底处的温度分布和质量流密度的计算值与实测值相吻合。只有气体进口速度对质量流密度...
关键词: 热丝化学气相沉积 , coupled model , spacial field
