材料期刊网

非晶金刚石薄膜的sp3键成分的XPS谱研究

魏爱香 , 陈弟虎 , 周有国

人工晶体学报 doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2003.02.019

把非晶金刚石薄膜的XPS C1s谱分解为中心在284.4±0.1eV 和285.2±0.1eV的两个高斯特征峰,分别对应于碳薄膜中的sp2C和sp3C.用这两个高斯特征峰的面积除以C1s谱的总面积,得出非晶金刚石薄膜中sp2C和sp3C的比例.用上述方法对sp3C比例不同的一组样品进行了分析计算,并与先前用紫外-可见光吸收光谱和拉曼光谱对同一组样品分析得出的结果进行了比较,结果表明:用XPS谱能简便而有效地定量确定非晶金刚石薄膜中sp2C和sp3C的比例,且这种方法适用于所有功能碳薄膜.

关键词: 非晶金刚石薄膜 , X射线光电子能谱 , sp3 C比例