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AgOx薄膜的形貌、光谱以及激光烧蚀研究

秦连杰 , 王卓 , 贾玉光 , 徐惠忠 , 王广东

功能材料

制备了不同氧分压比的AgOx薄膜,对其进行了原子力(AFM)形貌观察,发现分压比0.4时,薄膜的粗糙度最小,均匀性也最好.光谱性质表明:随着分压比的增加,存在着金属向半导体的转变;经过热处理后的共振吸收峰和扫描电(SEM)表明了金属银粒子的析出.不同激光功率下的烧蚀实验表明:在激光照射下存在着两记录(烧蚀)形态,一种是银粒子散布在其间的气泡型;另一种是形成中间烧蚀孔,银粒子在孔附近密集的破裂气泡型.

关键词: 氧化银薄膜 , 激光烧蚀 , 半导体 , 金属纳米粒子

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