周新木
,
王爱勤
,
李静
,
阮桑桑
,
李永绣
稀土
doi:10.16533/J.CNKI.15-1099/TF.201505004
以高浓度稀土料液为原料,高温下制备的稀土碳酸盐为高密度碱式碳酸稀土,然后以高密度碳酸稀土为原料,采用高温爆裂法制备超细稀土抛光粉.通过SEM、粒度测定、抛光测定对样品进行表征.研究了不同的煅烧模式、爆裂温度、老化时间和老化温度对稀土氧化物形貌、粒度和性能的影响.结果表明:高密度碱式碳酸稀土在900℃～950℃高温爆裂、900℃～1000℃老化3h～4h,得到粒径D50为290 nm左右,分散性、抛光效果较好的超细稀土抛光粉,并可实现超细稀土抛光粉工业化生产.
关键词:
化学机械抛光
,
高密度碳酸稀土
,
高温爆裂法
,
超细抛光粉
