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新型界面结合强度检测技术理论及实验研究

于斌斌 , 袁军堂 , 孙淮阳 , 吴笑天

材料科学与工艺

膜/基界面结合强度的测量与评价已成为硬质薄膜技术发展与应用的关键问题.提出了1种新的测量方法———激光冲击检测技术,分析了在脉冲激光作用下,薄膜脱落的机理与数学模型.以测定TiN薄膜界面结合强度为例,用650～1000 mJ的脉冲激光对膜层进行加载,并采用体式显微镜和扫描电镜对薄膜的脱落情况进行表面...

关键词: 脉冲激光 , 结合强度 , 硬质薄膜 , 反射信号