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张山山 , 王锦标 , 苏永要
材料导报 doi:10.11896/j.issn.1005-023X.2014.21.028
纳米多层膜是在单层膜与复合膜的基础上发展起来的一种新型薄膜,它被广泛应用于机械加工、航空航天、能源等领域,作为结构材料或功能材料都具有良好的发展前景.介绍了近十几年纳米多层膜的研究状况,主要从多层膜体系、制备技术、多层膜的性能以及多层膜的表征方法4个方面对纳米多层膜进行了综述,同时对纳米多层膜的超硬机制、纳米多层膜未来的研究方向和应用前景进行了分析.
关键词: 纳米多层膜 , 制备技术 , 性能 , 表征方法
水露雨 , 严彪
金属功能材料
MEMS技术作为一种新兴的高端制造技术受到全球的重视,成为研究热点.随着TiAl合金薄膜的研究和应用发展,其优异的高温力学性能和抗腐蚀性能提高了MEMS系统的应用范围.阐述了TiAl合金薄膜的制备技术,生长模式和微观结构,并介绍了TiAl合金薄膜在MEMS上的应用研究进展.
关键词: MEMS , TiAl合金薄膜 , 磁控溅射 , 生长模式 , 制备方法
