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王沿东 , 刘沿东 , 徐家桢 , 梁志德
金属学报
将织构组态熵的概念应用于沉积多晶薄膜织构演变的模拟研究，考虑薄膜沉积过程中晶体表面能各向异性及应变能各向异性的变化，建立了沉积薄膜晶体择优生长的定量模型；模拟了Al多晶薄膜沉积过程中晶体的生长规律，分析了织构演变的主要微观物理因素.
关键词: 多晶薄膜 , texture evolution , configuxation entropy
