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周文韬 , 辜锋 , 何书玉
材料开发与应用
对多晶硅还原工艺中硅芯机加工、硅芯清洗、硅芯安装、还原炉气体置换、硅芯沉积生长过程、以及停炉过程等操作环节中硅棒裂纹产生的原因进行了分析,并提出了硅棒裂纹控制方法.
关键词: 多晶硅 , 还原工艺 , 硅棒裂纹 , 裂纹控制
曹旭 , 张建刚 , 陈烨 , 高文龙 , 陈学航 , 杨淼
硅酸盐通报
本文概述了多晶硅的用途、重要性和主要研究方法,重点介绍了采用氟硅酸钠制备多晶硅的方法,该方法由于能耗低、污染小将是具有良好发展前景的太阳能级多晶硅制备方法.论述了氟硅酸钠制备多晶硅的研究进展与存在的难点,并提出了要实现制备太阳能级多晶硅产业化需解决的问题.
关键词: 多晶硅 , 太阳能 , 氟硅酸钠
