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硅基三元系PMnN—PZT铁电薄膜制备与研究

张涛 , 张淑仪 , 李敏 , 周胜男 , 孙斌

功能材料

利用磁控溅射方法在单晶Si基底上沉积三元系铁电薄膜6%PMnN-94%5PZT(6%Pb(Mn1/3,Nb2/3)O3—94%Pb(Zr0.52,Ti0.48)O3),采用淬火方法对薄膜进行处理,以促进薄膜钙钛矿结构形成。同时,在相同条件下制备非掺杂PZT(52/48)薄膜以对比薄膜掺杂效果。运用X射线衍射(XRD)技术分析薄膜晶向及晶体结构,运用SawyerTower电路测试薄膜铁电性能,运用激光测振仪测试薄膜的压电系数。实验结果表明,所沉积薄膜为多晶钙钛矿结构铁电薄膜,薄膜铁电剩余极化Pr=23.7μC/cm2,饱和极化Ps=40μC/cm2,矫顽场电压2Ec=139kV/cm,横向压电系数e11=-13.2C/m2,薄膜的铁电及压电性能优良。

关键词: 多晶铁电薄膜 , 磁控溅射 , 铁电性能 , 压电性能

声表面波用压电晶体的新进展

徐家跃 , 武安华 , 陆宝亮 , 张爱琼 , 范世(马山豆) , 夏宗仁

人工晶体学报 doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2004.04.019

报道了我们在Li2B4O7、Sr3Ga2Ge4O14、LiNbO3、LiTaO3等声表面波用压电晶体材料方面的最新研究进展.采用改进型坩埚下降法成功生长了直径3~4英寸的Li2B4O7晶体,并实现了批量生产.作为硅酸镓镧系列新型压电晶体之一,Sr3Ga2Ge4O14晶体具有最大的压电系数.报道了直径2英寸Sr3Ga2Ge4O14晶体的生长结果,测试了该晶体的压电性能.在CO2(90%)、H2(10%)混合气氛中,分别在700℃和450℃下对LN和LT晶片进行化学还原处理,成功制备了3英寸LN和LT低静电黑片,不仅减少了器件制作工序,而且使成品率提高了5~8百分点.此外,在密封坩埚中生长了低静电LiNbO3晶体,观察到一些新的现象.

关键词: 压电 , 坩埚下降法 , 晶体生长 , 黑片 , 声表面波

低温烧结制备(Ba0.9Ca0.1)(Zr0.15Ti0.85)O3无铅压电陶瓷

杨洁 , 刘佳 , 邓湘云 , 杨仁波

功能材料 doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2014.09.025

采用溶胶-凝胶法制备出(Ba0.9 Ca0.1)(Zr0.15 Ti0.85)O3(简称BCT-BZT)粉体,并采用两段式传统烧结法用较低的烧结温度(1290℃)制备了该无铅压电陶瓷,运用热重差示扫描测量法分析了反应过程.X射线衍射测试结果表明,BCT-BZT粉体和陶瓷均是典型的钙钛矿结构,根据谢乐公式计算出粉体的晶粒尺寸约为32 nm.此外,室温下利用 TF Analyzer 2000铁电分析仪测得该陶瓷的介电常数高达6134,居里温度约为95℃,最大压电系数d33达到263 pm/V.利用此方法制备的 BCT-BZT 无铅压电陶瓷,其烧结温度与固相反应法相比降低了约200℃左右,同时还保持了良好的压电性能,从而降低了烧结成本,有利于实现该陶瓷的大规模工业化生产.

关键词: 无铅压电陶瓷 , 低温烧结 , 铁电性 , 压电性

(BixNa1-x)0.94Ba0.06TiO3陶瓷的结构和电学性能研究

王强

人工晶体学报

通过固相反应法制备了(BixNa1-x)0.94Ba0.06TiO3(x=0.5,0.505,0.51,0.515)陶瓷,研究了Bi3+含量对陶瓷样品结构和性能的影响.结果表明,Bi3+含量的变化并不影响陶瓷样品的相结构,所有样品均为纯的钙钛矿结构.当x=0.515时,样品具有更细小的晶粒尺寸.Bi3+含量的变化对样品的压电性和铁电性影响很大,随着Bi3+含量的增加,陶瓷样品的压电和铁电性逐渐减小;当x=0.515时,压电和铁电性消失,铁电陶瓷转变为反铁电陶瓷.

关键词: 无铅陶瓷 , 铁电性 , 压电性 , 反铁电

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