陈宁
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杨林
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张胜文
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刘敬成
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刘晓亚
高分子材料科学与工程
经溶胶-凝胶法制得纳米SiO2,用不同结构的双键硅烷偶联剂对其表面进行原位接枝改性,得到两种光敏纳米SiO2（M70SiO2和M50SiO2）,并将其添加到紫外光固化丙烯酸酯预聚物中,制得杂化光致抗蚀材料。通过测定光敏参数（D0n.5）考察其光敏性知,杂化光致抗蚀材料光敏性明显增加,当光敏纳米SiO2的质量分数增至13.7%～15.8%时,光敏参数达25 mJ/cm2～27 mJ/cm2;用差示扫描量热仪（DSC）及热机械分析（TMA）考察抗蚀材料的热性能,结果显示,随光敏纳米SiO2用量增加Tg升高,热膨胀系数减小,同时分辨率和精密性并未因光敏纳米SiO2的加入而降低。
关键词:
光敏纳米SiO2
,
光致抗蚀材料
,
杂化
,
光能量敏感度
,
分辨率
