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p型透明导电氧化物CuAlO2薄膜的研究进展

李军 , 兰伟 , 张铭 , 董国波 , 严辉

材料导报

透明导电氧化物(TCO)的出现开拓了光电子器件研究的新领域.但p型TCO的相对匮乏严重制约了透明氧化物半导体(TOS)相关器件的开发与应用.CuAlO2作为一种天然的p型TCO成为近年来p型TCO的研究热点.介绍了p型TCO的研究现状,综述了不同制备方法制备p型CuAlO2薄膜的研究进展,以及在器件方面的应用,并对其前景进行了展望.

关键词: 透明导电氧化物(TCO) , p型TCO , CuAlO2薄膜