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基于激光干涉法的压电常数测量系统

吴金泉 , 王雪平 , 陈心浩 , 徐小燕 , 林兆祥

硅酸盐通报

压电陶瓷是一种重要的精密驱动器件,广泛应用于国防工业和民用生活中的高精度测量.本文根据压电陶瓷的工作原理,利用激光干涉法,构建了一套快速检测压电常数的原理样机.测试实验结果表明,其检测精度高,稳定性好,具备开发成专用压电常数测量装置的可能.

关键词: 压电陶瓷 , 激光干涉测量 , 离面位移 , 压电常数 , 原理样机

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