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阳离子迁移型阻变存储材料与器件研究进展

高双 , 曾飞 , 宋成 , 潘峰

材料科学与工艺 doi:10.11951/j.issn.1005-0299.20160401

硅基闪存是当前半导体市场的主流非易失性存储器,但其小型化日益接近物理极限。阳离子迁移型阻变存储器是下一代高速、高密度和低功耗非易失性存储器的有力竞争者之一,近些年受到科学界和工业界的广泛关注。本文从材料、阻变机理和器件性能3个方面综述了阳离子迁移型阻变存储器的研究进展,其中材料部分包括电极材料和存储介质,阻变机理部分包括金属导电细丝的存在、生长模式和生长动力学,而器件性能部分包括开关比、擦写速度、擦写功耗、循环耐受性、数据保持特性以及器件小型化潜力。最后,对本领域的未来研究重点进行了展望。

关键词: 阻变存储器 , 阳离子迁移 , 氧化还原反应 , 金属导电细丝 , 非易失性存储器

阳离子基阻变存储器的研究进展

刘琦 , 刘森 , 龙世兵 , 吕杭炳 , 刘明

中国材料进展 doi:10.7502/j.issn.1674-3962.2017.02.01

基于电荷存储的传统非易失存储技术越来越难以满足大数据时代对海量信息的存储需求,亟需发展基于新材料、新原理的非易失存储技术.基于阳离子电化学效应的阻变存储器具有结构简单、速度快、功耗低、可缩小性好、易于三维集成等优点,被认为是下一代非易失存储器的有力竞争者.然而,器件参数离散性大以及阻变机制不清晰严重阻碍了该类器件的快速发展.近几年,国内外学者通过材料和结构的优化设计显著提高了器件的性能,借助先进的表征技术阐明了器件电阻转变的微观机制,为阳离子基阻变存储器的大规模生产和应用奠定了科学基础.从材料改性、器件结构设计和微观机制表征三个方面综述了阳离子基阻变存储器的研究进展,并对其未来的研究方向和发展趋势进行了展望.

关键词: 非易失存储器 , 阻变存储器 , 固态电解液 , 电化学效应 , 导电细丝

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