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金属托槽表面TiO_(2-x)N_x薄膜的生物摩擦磨损性能研究

张旭 , 曹宝成 , 李娜 , 张颖杰 , 王育华

功能材料

考察金属托槽表面掺氮TiO2-xNx薄膜的生物摩擦磨损性能。采用射频磁控溅射法在不锈钢金属托槽原材料表面制备掺氮TiO2-xNx薄膜,通过扫描电子显微镜(SEM)和X射线衍射(XRD)技术分析薄膜微观结构,利用UMT-2MT型摩擦磨损试验机考察薄膜的体外生物摩擦磨损性能。结果表明所制备的掺氮TiO2-xNx薄膜为锐钛矿结构,纳米量级,薄膜均匀致密;在干摩擦及人工唾液和Hank’s溶液的润滑条件下,掺氮TiO2-xNx薄膜均表现出良好的抗磨损低摩擦性能。

关键词: 射频磁控溅射法 , 掺氮TiO2-xNx薄膜 , 生物摩擦磨损性能

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