党威武
,
张永军
,
徐秀娟
,
李燕
合成材料老化与应用
ZnO作为一种具有优良性质的半导体材料,其纳米结构的制备方法得到广泛研究.气相法制备ZnO纳米阵列具有产物容易阵列及收集方便等特点,就近些年来ZnO纳米阵列的气相制备法研究情况做一总结和归纳,主要有化学气相沉积法、物理气相沉积法、金属有机物化学气相沉积法、化学气相输运法及脉冲激光沉积法等,并对不同实验方法合成的ZnO纳米阵列形貌结构及生长环境进行分析讨论,简单探讨气-液-固和气-固生长机理,为探索简单、方便,产物形貌结构及尺寸大小可控性强的气相制备方法提供依据.
关键词:
ZnO
,
制备
,
纳米阵列
