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化学气相沉积金刚石膜的研究与应用进展

吕反修

材料热处理学报

化学气相沉积(CVD)金刚石膜具有极其优异的电学(电子学)、光学、热学、力学、声学和电化学性能的组合,因此在一系列高新技术领域有非常好的应用前景,并曾在20世纪80年代中期形成席卷全球的"金刚石热".30余年来, CVD金刚石膜研究取得了极其巨大的进展,但在产业化应用方面仍不尽人意.本文对此进行了比较详尽地综述和评论,希望更多的人了解,并推进其研究和产业化进展.

关键词: 金刚石膜 , 化学气相沉积 , 多功能材料 , 产业化