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TiN薄膜的多元合金化强化

谢致薇 , 王国庆 , 蒙继龙 , 陈海燕

材料科学与工程学报 doi:10.3969/j.issn.1673-2812.2000.04.029

多元合金化是强化TiN膜的有效途径之一，也是目前研究的热点。本文介绍了几种多元氮化物薄膜的沉积技术及性能特点，重点分析了性能对工艺的依赖关系。

关键词: 多元合金化 , 离子镀 , 多元膜