张果虎
,
常青
,
方锋
,
吴志强
,
周旗钢
稀有金属
doi:10.3969/j.issn.0258-7076.1998.01.017
在全自动拉晶条件下, 讨论了拉制Φ200 mm硅单晶遇到的新问题. 热场配置、工艺参数的选择、石英坩埚的选用等有了更严格的要求. 合理的轴向温度梯度和径向温度梯度、低拉速、低晶转及规范的拉晶工艺是拉制大直径单晶的关键.
关键词:
Φ200
,
mm硅单晶
,
无位错
,
热场
,
工艺参数
,
系统操作参数表
郝玉清
,
张果虎
,
常青
,
方锋
,
吴志强
,
万关良
,
秦福
稀有金属
doi:10.3969/j.issn.0258-7076.1998.06.017
为控制氧径向均匀性, 选择Φ350 mm热场. 增加晶转速度可以改善氧径向均匀性, 但石英坩埚转速对氧径向均匀性没有明显影响.
关键词:
Φ125
,
mm硅单晶
,
氧径向均匀性
,
热场
,
晶转速度
,
石英坩埚转速
