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芯片式量热计测量薄膜样品和高压样品的比热

邱焕勇

物理测试

介绍了一种用于测量薄膜样品和高压样品比热的一种芯片式量热计,该器件由美国加州大学伯克利分校的Frances Hellman研究组于15年前最先开发研制并投入使用,但其应用在中国尚未见报道。希望此文能为国内相关领域的研究人员起到抛砖引玉的作用。

关键词: 芯片式量热计 , thermal relaxation , micromachining

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