单德彬
,
徐杰
,
王春举
,
郭斌
中国材料进展
doi:10.7502/j.issn.1674-3962.2016.04.02
随着微纳米科学和微机电系统(Micro?Electro?Mechanical Systems,MEMS)技术的快速发展,人们对微型零件的需求日益增加.塑性微成形是一种采用塑性变形,成形零件尺寸至少有两个方向在亚毫米量级的微制造方法,具有加工效率高、 工艺简单以及成形零件性能优异和精度高等特点,特别适合于微型零件的低成本批量制造.介绍了塑性微成形技术的研究背景、 应用领域及其优点,综述了微成形在尺度效应、 新设备以及工艺方法等方面的最新研究进展,并论述了微成形技术在新材料(超细晶材料及非晶材料)方面的发展趋势.
关键词:
微成形
,
尺度效应
,
微型零件
,
超细晶材料
,
微机电系统