何金江
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陈明
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朱晓光
,
罗俊锋
,
尚再艳
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贺昕
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熊晓东
贵金属
高纯 Au、Ag、Pt、Ru 贵金属及其合金溅射靶材是半导体 PVD 工艺制程中的溅射源材料,广泛用于半导体制造工艺中,成为保证半导体器件性能和发展半导体技术必不可少及不可替代的材料。材料的高纯化、高性能贵金属及其合金靶材的制备(金属熔铸、热机械处理、粉末烧结、焊接等)以及贵金属靶材残靶及加工余料残屑的提纯回收利用是研究发展的重点,以实现贵金属靶材产品的高效增值。
关键词:
金属材料
,
半导体
,
溅射靶材
,
高纯
,
金
,
银
,
铂
,
钌
龚晓钟
,
汤皎宁
,
徐松志
,
田鹏
稀有金属材料与工程
在草酸电解液中用二次阳极氧化法制备多孔阳极化氧化铝(PAA)模板.通过对各种工艺参数(如电流密度、氧化时间、电解液浓度等)的调整,最终获得孔洞分布均匀、孔径基本一致、孔口呈六边形的PAA模板.同时在不剥离膜的情况下去除阻挡层,使原残留的铝成为基底,起电极作用.在非水体系中,用模板直流电沉积成功地制备了稀土单质Nd纳米线.经过SEM观测,PAA模板孔径在60nm 左右,去阻挡层前后变化不大,制备的Nd纳米线排列有序,尺寸一致:EDS测定表明纳米线为单质Nd及少量Nd2O3纳米线,单质Nd含量为92.73wt%;XRD分析图谱显示所得到的单质Nd及Nd2O3纳米线都为六方结构.
关键词:
金属材料
,
纳米线
,
稀土单质钕
,
非水体系
,
电沉积
,
阻挡层
,
氧化铝模板
董守安
,
杨辅龙
,
苏琳琳
,
方卫
贵金属
在HAuCl4-葡萄糖-丙酮体系中,丙酮不仅能起光敏剂、加速光化学还原Au(III)离子的反应,还能诱导已形成的金纳米粒子整形。整形过程伴随着明显的可见/近红外吸收光谱变化,并形成一些全新的纳米结构。实验结果表明,金纳米粒子的整形方式与初始金纳米粒子的形貌密切相关,对于球形的金纳米粒子,整形后形成纳米线;而对于锥形纳米粒子则形成金纳米片。
关键词:
金属材料
,
光化学还原
,
金纳米粒子
,
丙酮
,
整形
康菲菲
,
吴永谨
,
杨国祥
,
孔建稳
贵金属
随着电子信息行业的快速发展,超薄层状金属基复合丝材的需求不断增加。制备超薄层状金属基复合丝材的复合技术有4种,分别为:电镀技术、固相复合技术、复合铸造和气相沉积技术。通过复合质量和批量化生产条件两方面的比较,简要介绍了半导体封装用内引线-金银复合丝的复合工艺的选择和优化。
关键词:
金属材料
,
复合丝材
,
金银复合丝
,
超薄
,
层状
,
复合技术