杜军
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孟凡军
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臧艳
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郭蕾
表面技术
目的：获得具有高硬度、高韧性的 ZrAlN 薄膜。方法采用磁控溅射技术在钛合金和单晶 Si 上沉积不同 Al 含量的 ZrAlN 薄膜,对薄膜的微观组织和相结构进行表征,并测试薄膜的硬度(H)、弹性模量(E)和断裂韧性(K IC )。结果当 Zr1-x Alx N 薄膜 x 分别为0.05,0.23,0.47,0.63时,对应的硬度依次为24.5,40.1,17.1,19.1 GPa,断裂韧性依次为1.47,3.17,1.13,1.58 MPa·m-0.5。 x 为0.05和0.23时,Al 固溶到 ZrN 晶粒中,形成 NaCl 型面心立方(FCC)结构；x 为0.47和0.63时,则形成纤锌矿密排六方(HCP)AlN 第二相。结论 ZrAlN 薄膜的硬度和韧性与相组成密切相关。 Al 固溶时,ZrAlN 的硬度较高,韧性较好；超过固溶极限,形成六方 AlN 时,ZrAlN 硬度较低,韧性较差。相比之下,Zr0.77 Al0.23 N 薄膜同时具备最高的硬度和最高的韧性。
关键词:
磁控溅射
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硬度
,
韧性
,
ZrAlN 薄膜
卢旭东
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田素贵
,
王涛
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朱德刚
材料热处理学报
采用磁控溅射方法在高Cr镍基单晶合金上沉积晶粒平均尺寸小于100 nm的Ni30Cr12Al0.3Y涂层,通过对镍基单晶合金及其Ni30Cr12Al0.3Y涂层在900℃的75％Na2SO4+25％ K2SO4熔盐中的腐蚀动力学曲线测定及组织观察,研究了Ni30Cr12Al0.3Y涂层对高Cr镍基单晶合金热腐蚀行为的影响.结果表明,镍基单晶合金遭受了灾难性的热腐蚀,出现严重的内硫化和内氧化现象;而Ni30Cr12Al0.3Y涂层在热腐蚀过程中,仅涂层表面生成连续的Al2O3氧化膜,表现出优良的抗热腐蚀性能.
关键词:
镍基单晶合金
,
磁控溅射
,
熔盐
,
热腐蚀
王会
,
徐晓
,
冯斌
,
王德苗
机械工程材料
doi:10.11973/jxgccl201511015
采用磁控溅射工艺在微波腔体耦合器内壁沉积了银/铜双层膜,并对该膜的电性能以及膜基结合强度等进行了研究.结果表明：采用磁控溅射法沉积的银/铜双层膜和基体的结合强度可达5．0 MPa；其中,内壁沉积有2μm银/2μm 铜双层膜的耦合器的电性能最佳,耦合度为5．75~6．20 dB,隔离度为31．02 dB,端口驻波值为24．43 dB,均达到了电镀的指标,插入损耗小于1．70 dB,优于电镀的；该工艺用银量少,无污染,可替代电镀在微波器件表面沉积功能镀层.
关键词:
磁控溅射
,
耦合腔
,
双层膜
,
电性能
,
结合强度
胡东平
,
王小龙
,
唐俐
表面技术
doi:10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2016.07.024
目的：研究本底真空对溅射镍铬合金薄膜性能的影响。方法在不同溅射时间下制备了不同厚度的镍铬合金薄膜，采用4、6、8、10 h不同的抽真空时间制备薄膜样品，并在空气、氮气及真空气氛中，对同一工艺条件下制备的镍铬合金薄膜样品分别在300、400、500℃下进行热处理，所有样品分别测试方块电阻。结果不同厚度的镍铬合金薄膜的方块电阻与薄膜厚度之间存在非线性关系，样品的方块电阻随着溅射前抽真空时间的增加而降低。在真空和空气中进行热处理的薄膜的方块电阻变化规律一致，而在氮气中的则相反。结论本底真空残留气体对镍铬合金薄膜的氧化是引起薄膜电阻率增大的主要原因，即射频磁控溅射镍铬合金薄膜被氧化而使电阻率增大，随着溅射时间的增加，残留气体影响减小，导致电阻率降低。前期抽真空时间大于9 h，靶材溅射清洗时间大于110 min时，制备的镍铬合金薄膜电阻率才趋于稳定。
关键词:
镍铬合金薄膜
,
磁控溅射
,
本底真空
,
电阻率
,
热处理
柯惠珍
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李永贵
,
王建刚
,
袁小红
,
陈东生
,
魏取福
功能材料
doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2017.03.031
首先采用磁控溅射法在静电纺聚氨酯(PU)纤维膜表面沉积纳米银(Ag)导热金属薄膜,并将其作为支撑材料,通过物理吸附法吸附癸酸-月桂酸-肉豆蔻酸-棕榈酸四元低共熔物(CA-LA-MA-PA),制备出新型的CA-LA-MA-PA/PU/Ag定型相变复合纤维膜.EDX测试结果显示Ag纳米颗粒已经被成功地沉积到静电纺PU纤维膜上.SEM图像显示经过磁控溅射后静电纺PU纤维的直径明显增加,CA-LA-MA-PA四元低共熔物被均匀地吸附到PU和PU/Ag纤维膜的孔隙结构中.热分析结果表明CA-LA-MA-PA/PU/Ag定型相变复合纤维膜的融化温度和融化焓值分别为17 ℃和94.81 kJ/kg.与CA-LA-MA-PA/PU定型相变复合纤维膜相比较,CA-LA-MA-PA/PU/Ag定型相变复合纤维膜的储热和放热时间分别缩短了约42%和24%.
关键词:
定型相变材料
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CA-LA-MA-PA四元低共熔物
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聚氨酯
,
磁控溅射
,
储热和放热时间
