高晓明
,
孙嘉奕
,
胡明
,
翁立军
,
伏彦龙
,
杨军
,
谭洪根
机械工程材料
采用多弧离子镀方法在低温(166 K)、室温(300 K)以及不同氩气压力(0.2～0.8 Pa)条件下沉积钛薄膜,通过X射线衍射仪、原子力显微镜、显微硬度计和划痕试验机等对薄膜的物相结构和性能进行了研究.结果表明:不同工艺条件下沉积的钛薄膜均为密排六方纳米晶ω-Ti和α-Ti的两相复合相结构;在低温、低氩气压条件下沉积的钛薄膜具有较高含量的硬脆ω相,因而具有较高的显微硬度,同时还表现出良好的膜基结合性能,比较适宜用作固体润滑薄膜与钢基体间的过渡层,以改善其膜基结合性能和承载能力.
关键词:
低温沉积
,
钛薄膜
,
物相结构
,
性能
高晓明
,
孙嘉奕
,
胡明
,
翁立军
,
伏彦龙
,
杨军
,
谭洪根
,
张良俊
机械工程材料
采用多弧离子镀方法在低温(173 K)下沉积了银和银铜薄膜,通过地面原子氧模拟试验系统考察了薄膜的耐原子氧性能,通过X射线衍射仪(XRD)和原子力显微镜(AFM)对薄膜的结构和耐原子氧性能进行了分析,并与室温下沉积的银薄膜进行了比较.结果表明:低温沉积和铜元素合金化,可减小银薄膜的晶粒尺寸,并提高其结构致密性;低温沉积的银铜薄膜表现出细密的结构,这有利于抑制原子氧对薄膜的氧化,从而使其比室温及低温下沉积的银薄膜具有更好的耐原子氧性能.
关键词:
低温沉积
,
银铜薄膜
,
耐原子氧性能
