于威
,
郭亚平
,
杨彦斌
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郭少刚
,
赵一
,
傅广生
功能材料
采用铝诱导非晶硅薄膜晶化技术制备了多晶硅薄膜,并研究了多晶硅的成核和生长特性。非晶硅薄膜采用等离子体增强化学气相沉积法制备,其表面沉积铝薄膜后经不同温度的氮氛围退火处理。结果表明,退火后的硅薄膜层与铝层发生置换,所生长的多晶硅颗粒的平均尺寸约为150nm。X射线衍射分析结果揭示,薄膜的晶向显著依赖于退火温度,较低温度下,铝诱导晶化速率较慢,薄膜的优化晶向与非晶硅薄膜中团簇的初始原子排列趋势紧密相关。而较高温度下,铝诱导晶化促使多晶硅（111）择优成核及随后的固相生长。
关键词:
铝诱导晶化法
,
多晶硅薄膜
,
低温退火
,
定向生长
龚玉兰
,
吴小香
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任世影
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程莲萍
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朱心昆
材料热处理学报
超细晶Cu-0.1at％ Ge合金在液氮温度下轧制后在150℃退火1h,分别研究了超细晶铜锗合金在退火前后的显微硬度及力学性能.结果表明,通过低温退火,超细晶铜锗合金的显微硬度和强度得到提高,而均匀伸长率下降.
关键词:
铜合金
,
液氮轧制
,
低温退火
,
力学性能
