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ZrO2-SiO2薄膜对离子交换增强玻璃的光学和力学性能影响

张鹤 , 周珏辉 , 张启龙 , 杨辉

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2013.13014

采用溶胶-凝胶法在玻璃表面制备出ZrO2-SiO2薄膜,然后通过离子交换形成镀膜增强玻璃,研究了薄膜组成对离子交换增强玻璃的力学和光学性能的影响.利用紫外可见分光光度计、激光椭偏仪、纳米压痕、三点抗弯和能谱(EDX)分析了薄膜结构及性能.结果表明:所有薄膜均连续均匀,纯ZrO2薄膜为四方相结构,含Si薄膜为无定形结构;薄膜具有较高弹性恢复率(≥60%)以及H/E比(≥0.1),有利于强度增强;随Si含量增加,可见光透过率增大,但表面硬度和杨氏模量随之降低;0.5ZrO2-0.5SiO2薄膜综合性能最佳:表面硬度为18 GPa,抗弯强度为393 MPa,厚度~45 nm时可见光透过率大于85%.

关键词: 离子交换玻璃 , ZrO2-SiO2薄膜 , 溶胶-凝胶 , 纳米压痕

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