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Preparation of YBa_2Cu_3O_(7-x) Superconductor Film by Ion Beam Sputtering

HU Qingyu WEN Lishi QIAO Guiwen ZHUANG Yuzhi Institute of Metal Research , Academia Sinica , Shenyang , China.

材料科学技术（英文）

关键词: superconductor film , null

C诱导层温度对Ge/Si量子点溅射生长的影响

刘鹏强 , 王茺 , 周曦 , 杨杰 , 杨宇

功能材料 doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2014.05.012

采用离子束溅射技术,通过改变诱导量子点形成的C层生长温度,在n型Si(100)衬底上自组装生长了一系列Ge量子点。利用 AFM和 Raman光谱对样品的表面形貌和结构进行了表征。实验结果表明,当C层的温度从600℃升高到700℃时,Ge 量子点的密度逐渐降低,且结晶性变差；此时,量子点中的 Si 组分升高。当C层的生长温度从700℃升高到800℃过程中,Ge量子点的密度逐渐增大,结晶性也有所改善；此时,量子点中的Si含量降低。

关键词: 离子束溅射 , Ge量子点 , 扩散 , C诱导