邱万奇
,
吴强
,
刘仲武
,
曾德长
,
周克崧
稀有金属材料与工程
在铜基体上沉积Cu(Cr)-diamond复合过渡层,用热丝CVD法在复合过渡层上沉积出金刚石膜.用压痕法对沉积的金刚石膜/基结合性能进行了研究.结果表明,在Cu-diamond上沉积的金刚石膜,用147 N压痕时压痕边缘出现大面积崩落,并在基体表面留下被拔出的金刚石凹坑;在Cu-diamond中掺入微量Cr,压痕边缘只形成环形裂纹,增大压痕载荷至441N,环形裂纹区域增大,并出现部分崩落,崩落区域有被切断的金刚石残留.在Cu-diamond复合层中掺入微量Cr能显著提高金刚石膜/基结合力.
关键词:
金刚石膜
,
镶嵌
,
复合镀
,
压痕
,
结合力
