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SPDT加工对KDP晶体表面温度及应力的影响

杨萍 , 张晨贵 , 梁莹林 , 刘有海 , 阳红 , 张连新 , 栾春红 , 姜晶 , 王超

人工晶体学报

KDP晶体作为优质的非线性光学材料,具有脆性高、对温度敏感等特性,在单点金刚石切削(SPDT)超精密加工中,微小的温度和应力变化有可能对晶体造成损伤,但是一直未有相关实验报道.本文采用红外热成像仪对SPDT加工过程进行监测,结合Raman光谱技术,研究KDP晶体在SPDT加工前后表面温度和应力的分布...

关键词: KDP晶体 , 温度原位测量 , Raman光谱 , 模拟仿真