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梯度过渡层对硬质合金沉积类金刚石膜的耐磨性影响

赵佳群 , 李刘合 , 景凯 , 许亿 , 刘红涛 , 李光

表面技术 doi:10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2017.01.014

目的 分析不同类型的梯度过渡层对硬质合金沉积类金刚石涂层耐磨性能的影响,制备出能有效改善硬质合金减摩抗磨性能的类金刚石涂层.方法 采用真空阴极电弧离子镀和等离子体增强化学沉积技术,在硬质合金基底上制备了Ti/TiC/DLC、Ti/TiN/DLC、Ti/TiN/TiNC/DLC和Ti/TiN/TiNC...

关键词: 类金刚石涂层 , 梯度过渡层 , 硬质合金 , 耐磨性 , 真空阴极电弧 , PECVD

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