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硼酸对熔融石英烧结及其晶化的影响

王金波 , 李凯 , 黄世俊 , 肖建中 , 夏风

硅酸盐通报

本文通过XRD、SEM等分析,从显微结构方面研究了硼酸对熔融石英烧结及其晶化的影响.结果表明硼酸在本实验范围内促进烧结,而且当硼酸含量小于0.5wt%时,随硼酸含量的增加,效果越明显;当硼酸含量为0.5wt%至1.0wt%时,变化不大;当硼酸含量大于1.0wt%时,烧结的驱动力大大提高,促进烧结的效果也更加明显.研究还发现,添加硼酸同时也促进了熔融石英的晶化,而且随硼酸含量的增加,晶化越严重,其结晶度成指数增长.当硼酸含量小于1.0wt%时,结晶相为低温方石英相;当硼酸含量高于1.0wt%时,结晶相以低温方石英相为主,同时还生成新的结晶相(BSi)O_2和Si_(30.72)B_(1.28)O_(64).

关键词: 熔融石英 , 硼酸 , 烧结 , 晶化

我国多晶硅铸锭坩埚的现状与发展

李贵佳

硅酸盐通报

本文总结了我国多晶硅锭坩埚生产现状,指出熔融石英材质坩埚仅能一次性使用,可反复使用的坩埚是发展方向,介绍了国内外可反复使用坩埚的主要生产技术.

关键词: 多晶硅锭 , 坩埚 , 熔融石英 , 反复使用

不同化学蚀刻法对石英基片激光损伤阈值的影响

赵松楠 , 吕海兵 , 晏良宏 , 袁晓东 , 郑万国

材料导报

为提高三倍频光学元件的表面损伤阈值,采用了不同方式对石英基片进行酸蚀刻,利用原子力显微镜观测了基片蚀刻前后的表面微观形貌,并在激光损伤测量装置上进行了R:1方式的阈值测试,比较分析了蚀刻前后基片激光损伤阈值和表面形貌的变化,并比较了不同抛光质量石英基片蚀刻效果的差异.通过实验研究,总结了不同蚀刻方式的优缺点,研究表明酸蚀刻法可以有效提高石英基片激光损伤阈值.

关键词: 激光损伤阈值 , 湿化学蚀刻 , 石英基片 , 表面形貌

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