欢迎登录材料期刊网
陈学航 , 李焱 , 张建刚 , 高文龙 , 曹旭 , 陈烨 , 刘振东
硅酸盐通报
四氟化硅(SiF4)是电子和半导体行业中的一种重要原料,在光伏产业中占重要地位.详细介绍了四氟化硅的主要制备方法:硫酸法、Si-F2直接合成法、氟硅酸盐热解法和氢氟酸法,并对四氟化硅提纯工艺进行了比较.
关键词: 四氟化硅 , 氟硅酸盐法 , 提纯
