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基于Si衬底的CdSe薄膜蒸镀工艺研究

肖飞 , 曾体贤 , 杨辉 , 刘其娅 , 裴传奇 , 张敏

人工晶体学报

采用真空蒸发技术在Si(100)基底上制备了CdSe纳米晶薄膜,利用X射线衍射仪(XRD)、膜厚测试仪、原子力显微镜(AFM)方法对不同蒸发电流下制备的薄膜的结晶情况、表面形貌进行分析表征.结果表明:蒸发电流对CdSe薄膜的结晶性能和表面形貌有显著影响.当蒸发电流为75 A时,CdSe薄膜沿(002...

关键词: 真空蒸发 , CdSe薄膜 , 蒸发电流 , 结晶结构 , 表面形貌