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电化学腐蚀自停止制备Si膜的新技术

张佐兰

材料研究学报

本文介绍高精度控制Si 膜厚度的电化学腐蚀自停止新技术。讨论光照和电极欧姆接触等对腐蚀特性的影响,以及所得Si 膜的质量。

关键词: 电化学腐蚀 , etch-stop , membrane , sol material