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静电辅助气溶胶化学气相沉积法制备Al2O3薄膜

王耀华 , 贺琦 , 李成明 , 吕反修

机械工程材料

以乙酰丙酮铝为前驱体,N,N-二甲基甲酰胺为溶剂,采用静电辅助的气溶胶化学气相沉积(ESAVD)方法,在Si(100)衬底上制备了Al2O3薄膜,并采用场发射扫描电镜、能谱仪、X射线衍射仪和自动划痕仪等设备对制备的薄膜进行了表征.结果表明:采用ESAVD法制备的Al2O3薄膜平整致密而且晶粒细小,薄...

关键词: 静电辅助气溶胶化学气相沉积 , 氧化铝 , 薄膜