任凤章
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周丽红
,
刘平
,
郑茂盛
稀有金属材料与工程
由于微米/纳米机电系统(MEMS/NEMS)尺寸方面的特点和制造方面的原因,当对其施加一静电场时,它除了受到静电力外还不可避免地受到真空量子效应力(Casimir力)和残余应力的作用.在这3种力的联合作用下,其变形行为也变得极为复杂.本文导出了微米/纳米微机电系统中桥式薄膜结构在这3种力联合作用下的挠度解析表达式.在不同条件下对其解进行了分析讨论.结果表明:大的残余拉应力将促使微桥薄膜的挠度出现波状行为.
关键词:
Casimir力
,
静电力
,
残余应力
,
薄膜
,
挠度行为
皋华敏
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李铁
,
许磊
,
刘翔
,
王翊
,
周萍
,
王跃林
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2010.02.008
设计制作了一种基于静电力驱动的数字微流芯片.通过优化芯片的结构,采用硅为衬底,TiW/Au为微电极阵列,较薄的氮化硅和碳氟聚合物为介质层和疏水膜层,驱动电压大为降低.目前已成功实现了在30V的驱动电压下,对去离子水液滴的两维驱动,液滴移动速度可达96mm/s,同时也实现了对0.9%质量浓度NaCl溶液液滴的驱动.分析结果验证了液滴是在静电力的作用下实现移动.
关键词:
数字微流芯片
,
静电力
,
液滴
