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采用EB-PVD技术在TiAl基体上沉积NiAlHf涂层的研究

张东博 , 宋冠禹 , 薛志勇 , 贾龙 , 徐钢

稀有金属材料与工程

采用电子束物理气相沉积(EB-PVD)技术在TiAl基体上制备NiAlHf涂层,结合氧化增重曲线的测试结果,研究了NiAlHf涂层对基体在900,950和1000℃空气中氧化行为的影响.采用X-射线衍射(XRD)研究表面的物相结构,XRD结果表明,沉积后表面形成β-NiAl相,说明Hf固溶于其中.结果表明,在950 ℃氧化后涂层表面形成致密的氧化铝保护膜.扫描电子显微镜(SEM)和能谱(EDS)被用来测试其表面的形貌和元素分布.结果表明,在氧化过程中,基体和涂层之间的元素发生互扩散.随着氧化时间的增加,涂层厚度减小,扩散区发生显著变化.采用显微硬度表征涂层的韧性,涂层的显微硬度(HV)为7050MPa左右.NiAlHf涂层能提高基体高温抗氧化性能.

关键词: 电子束物理气相沉积 , TiAl基体 , NiAlHf涂层 , 氧化

EB-PVD热障涂层高温氧化过程中的显微结构和相分析

李美桓 , 孙晓峰 , 宫声凯 , 张重远 , 管恒荣 , 胡望宇 , 胡壮麒

中国腐蚀与防护学报

采用磁控溅射方法在镍基单晶高温合金基体上沉积NiCrAlY 粘结层,电子束物理气相沉积方法(EB-PVD)沉积陶瓷层(7 mass%Y2O3-ZrO2).用X-射 线 衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)等研究了EB-PVD热障涂层热循环过程中的相变,同时观察了样品 的形貌变化.结果表明,EB-PVD方法沉积的陶瓷层,其柱状晶粒簇拥成团,表面比较致密, 然而晶粒簇间存在间隙,允许柱状晶横向伸缩,使基体能在相对大的范围内自由膨胀.经高 温氧化后,陶瓷层表面变得疏松,柱状晶粒簇间距增大,随着热循环的继续进行,相邻较大 的间隙互相连接而形成微裂纹,并逐渐横向及纵向扩展.循环氧化比恒温氧化更易于产生显 微裂纹.1050℃热循环过程中,ZrO2正方相的c/a轴比值逐渐增加,Y2O3含量逐渐减 少,非平衡正方相逐渐分解成平衡正方相和立方相.循环300次后,观察到少量从平衡正方 相转变而来的单斜相.

关键词: 电子束物理气相沉积 , therma l barrier coating (TBC) , microcrack , phase transformati

QF1基底上可见光区宽带增透膜研究

朱华新 , 刘桂林 , 高劲松 , 王彤彤 , 李帅 , 严慧敏 , 郭颖 , 李果华

人工晶体学报

本文以QF1为基底设计了一种宽带可见光区增透膜,即:增透波长0.4~0.8 μm,工艺实现采用了电子束蒸发物理气相沉积的方法,薄膜材料仅含有TiO2和SiO2,并分别作为高低折射率材料.利用Edinburgh光谱仪对双面镀制该膜系样品的透过率进行测量,测试结果表明平均透过率达98.43%,通过SEM的膜层截面证实膜层比设计略偏厚,导致测试透过率与设计相比略有红移,但实际样品的光学特性与设计结果基本相符,具有宽带的增透特性.环境测试表明:薄膜具有良好的稳定性和牢固度.该增透膜可以应用于可靠性要求较高的环境中.

关键词: 光学薄膜 , 电子束蒸发物理气相沉积 , 透过率

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