彭雁
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詹肇麟
机械工程材料
以分析纯V2O5粉体为原料、H2O2为溶剂，采用电磁-超声波搅拌方式的无机溶剂-凝胶工艺，在ITO导电玻璃衬底上制备了V2O5薄膜；并研究了热处理温度对其形貌和结构的影响。结果表明：室温下V2O5薄膜为非晶无定形结构，400℃热处理后，薄膜中出现了β-V2O5相，450℃热处理后基本上全为β-V2O5相，500℃热处理后又出现了α-V2O5相；薄膜在350～400℃热处理后，表面较平滑、均匀，出现颗粒；450℃热处理后主要由瓣状、片状及短棒状多晶堆积而成；500℃热处理后主要由棒状多晶组成。
关键词:
V2O5薄膜
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溶胶-凝胶法
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电磁-超声波搅拌
