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直接敷铜Al₂O₃陶瓷基板的界面产物研究

方志远 , 陈虎 , 周和平

无机材料学报

直接敷铜Ａｌ_２Ｏ_３基板已被广泛应用于大功率场合．本文通过Ｃｕ箔表面预氧化生成Ｃｕ_２Ｏ的方法引入氧，１０７０℃在Ｃｕ箱和Ａｌ_２Ｏ_３基板界面上所产生的Ｃｕ－Ｃｕ_２Ｏ共晶液体促进了二者的牢固结合．流动氮气氛下保温１ｈ，观察到了明显的界面产物层．ＳＥＭ和ＸＲＤ的分析表明，界面产物相为ＣｕＡｌＯ_２．

关键词: 直接敷铜法 , pre-oxidizing , interfacial product