常俊杰
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王兴国
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徐久军
稀有金属材料与工程
采用瑞利波的特性评价了类金刚石涂层的质量.制备了3种试样,无涂层试样,完好试样,缺陷试样.得到了3种试样的瑞利波群速度频散曲线.结果表明,由于无涂层试样的群速度在不同频率下不变,表明该测量结果是可靠的.由化学气相沉积制备的类金刚石涂层的频散曲线表明,涂层对群速度有一定的影响,完好试样的群速度与缺陷试样的群速度随着频率的变化而变化,因此,泄漏瑞利波可以很好地作为评价类金刚石涂层质量的一种无损检测方法.
关键词:
类金刚石涂层
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瑞利波
,
相速度
,
衰减系数
