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方建锋 , 唐伟忠 , 张晋远 , 郑毅
物理测试
本文研究了用近平行的入射X射线，以掠入射的方式，利用薄膜下基体某一晶面衍射强度随掠入射角的变化关系来测定薄膜厚的方法。导出了基体某一晶面的衍射强度的对数InIr与掠入射角函数f(r)之间的线性关系，发现该直线的斜率即为薄膜的线吸收系数与其厚度的乘积。对WCCo硬质合金上的金刚石薄膜厚度进行了测定，并对该方法的重复性进行了验证。结果表明，InIr与f(r)之间的具有很好的线性相关性，而且该方法具有较好的精确性。
关键词: 掠入射X射线衍射 , diamond thin film , thickness determination
陈峰武 , 周灵平 , 朱家俊 , 李德意 , 彭坤 , 李绍禄
机械工程材料
采用热丝CVD法制备的大面积金刚石薄膜存在基片变形严重的问题，通过对热丝CVD设备和沉积工艺进行改进，成功解决了直径76mm、厚度0．4mm硅片的变形问题。结果表明：改进后金刚石薄膜基片的翘曲度为0．296%，比改进前的降低了88．9％；改进后金刚石薄膜的质量及晶粒大小均匀，膜厚不均匀度仅为1．53％，具有优异的大面积均习性。
关键词: 金刚石薄膜 , 热丝CVD , 变形 , 均匀性
