罗乐
,
蒋大鹏
,
赵读亮
,
严中亚
,
程光存
,
方晓东
连铸
doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2015.04.018
为掌握机械瓣膜衬底温度对类金刚石薄膜的影响规律,在实验中保持其它实验参数不变,机械瓣膜衬底温度分别取室温和150℃时,用脉冲激光沉积法在机械瓣膜上制备类金刚石薄膜.用Raman光谱仪对薄膜的微观结构进行检测;用原子力显微镜对薄膜的表面形貌和粗糙度进行检测.结果表明:当其它实验参数不变时,机械瓣膜衬底温度从室温升高到150℃时,薄膜的微观结构没有发生明显改变;薄膜表面的粗糙度减小.类金刚石薄膜和机械瓣膜衬底之间具有很好的黏附性.
关键词:
材料
,
类金刚石薄膜
,
脉冲激光沉积法
,
衬底温度
,
微观结构
,
表面形貌
王松
,
岳文
,
李星亮
,
姚克
,
方鹏
材料热处理学报
利用离子束辅助沉积技术和低温离子渗硫技术制备了二硫化钨/钨掺杂类金刚石(WS2/W-DLC)复合薄膜.采用扫描电子显微镜(SEM)、拉曼光谱仪(Raman)、透射电子显微镜(TEM)、纳米硬度仪(Nano-indenter)和多功能摩擦磨损试验机(UMT)考察了薄膜的微观结构与摩擦学性能.结果表明:制备的薄膜在大气环境下表现出优异的力学性能和超低摩擦的性能,该复合薄膜中,硬质强化相纳米碳化物WC1-x和软质润滑相过渡族金属硫化物WS2、FeS均匀镶嵌于类金刚石基体内形成复合结构,复合结构是薄膜表现出优异性能的主要原因.
关键词:
类金刚石(DLC)薄膜
,
离子束辅助沉积
,
低温离子硫化
